
| 參數 | 避坑建議 | 推薦配置 |
|---|---|---|
| 流量? | 檢查流量穩定性,確認是否帶自動補償 | 根據潔凈室等級匹配,高等級選大流量 |
| 粒徑? | 確認最小粒徑是否滿足未來工藝升級 | 半導體選0.1μm,制藥選0.3μm起 |
| 計數效率? | 必須要求提供第三方校準報告 | 嚴格遵循ISO 21501-4標準 |